材料プロセス
エアロゾルデポジション装置
(Type GD-AE04/SS2改,(有)淵田ナノ技研)
常温にて微細なセラミックスや金属の粉末を基板に噴きつけることで、緻密で結晶質な膜を形成することができます。
バキューム型グローブボックス
(EZ-650L,(株)UNICO)
エアロゾルデポジッション(AD)における成膜に用いる粉末の凝集を抑制するために導入しました。電気炉で乾燥させた粉末の取扱いは全てこの中で行っています。
遊星回転ボールミル
(LP-1,(株)伊藤製作所)
遊星回転方式のボールミルです。エアロゾルデポジションで使うセラミックス粉末の粒径調節(粒子の粉砕)に利用しています。
高温加工試験装置 (株)島津製作所製
２５トン万能試験機(AG-250kNC,(株)島津製作所)
電気炉(タングステンメッシュ炉,ネムス(株))
万能試験機に真空中で2000℃まで加熱が可能な電気炉を取り付けた装置です。真空中にて金属の高温変形ができます。炉の内部で金属を加工するロッドはTZM合金製です。
高温加工試験装置
５トン万能試験機(AG-50KNXD,(株)島津製作所)
電気炉(赤外炉,アルバック(株))
1000℃までの加熱が可能な電気炉を取り付けた装置です。大気中にて金属の高温変形ができます。金属を加工する温度によって、加工するロッドをステンレス製やニッケル基超合金製に交換することができます。電気炉を取り外して、室温で使う通常の万能試験機としての利用も可能です。
プレス付き真空熱処理装置
(PRESS-VAC-II,(株)東京真空)
電気炉：モリブデンヒーター
最高1300℃で２トンまでの負荷を加えることが出来ます。材料の焼結や接合体の作製に使っています。熱処理にも使うことができます。
熱処理、熱曝露
真空高温管状炉 (株)ヒートテック製
高温管状炉(AHRF-50KC-9P,(株)アサヒ理化製作所)
ターボ分子ポンプ排気システム(Hi Cube 80 Eco,PFEIFFER VACUUM)
真空にて最高1400℃まで加熱できる装置です。高温管状炉にアルミナ炉心管や真空配管、真空計に真空排気セットを組み合わせたものです。不活性ガスを導入して熱処理をすることもできます。冷却水を必要としないため、金属、セラミックスの長時間での熱処理に使っています。
集光照射式赤外線真空炉
(IVF298W,(株)サーモ理工)
金属表面の真空熱処理に使っています。
均温熱処理装置
(GFA430VN,(株)サーモ理工)
真空でも大気中でも熱処理が可能です。最高900℃まで加熱ができます。
超精密小型真空雰囲気炉
(FT-01VAC-50,フルテック(株))
金属の真空熱処理に使っています。また、粉末の乾燥にも利用しています。不活性ガスを導入することも可能です。
マッフル炉
(EPTR-13K,(株)いすゞ製作所)
エアロゾルデポジションでの成膜用の粉末の乾燥に使っています。金属の酸化試験や熱遮蔽コーティングの大気熱曝露試験にも時々、利用しています。
マッフル炉 (株)ヒートテック製
マッフル炉(AMF-20,(株)アサヒ理化製作所)
温度コントローラ(AMF-N,(株)アサヒ理化製作所)
エアロゾルデポジションでの成膜用の粉末の乾燥に使っています。
定温乾燥器
(DY300,ヤマト科学(株))
エアロゾルデポジッション装置には粉末をエアロゾル化するための瓶が取り付けられていますが、その瓶の乾燥に用いています。
超高温ボックス炉
(KBF524N1,光洋サーモシステム(株))
ヒーターにMoSi2が用いられており、大気中で1800℃まで加熱が可能です。セラミックスやセラミックス膜(環境遮蔽コーティングシステム)などの大気熱曝露試験に使っています。
ボックス炉
(KBF894N1,光洋サーモシステム(株))
大気中で1150℃まで加熱が可能です。金属の大気中での熱処理に使っています。
精密小型電気炉
(FT-101,フルテック(株))
大気中で1200℃まで加熱が可能です。金属の大気中での熱処理に使っています。金属の酸化試験、熱遮蔽コーティングの大気熱曝露試験にも利用しています。
加工、研磨
小型精密切断機 リファイン・ソー
(RCB-971,リファインテック(株))
試料の切り出しに利用しています。
小型精密切断機 リファイン・ソー
(リファインテック(株))
試料の切り出しに利用しています。古いのですが、切断する機能はまだまだ十分。水周りの配管やモーターをリフレッシュして使っています。
超小型ブレード切断機
(MPC-130,ムサシノ電子(株))
高温加工をした試験片の切断に使っています。重錘を用いての切断のため、試料をほぼ無ひずみで切り出すことができます。
研磨機 リファイン・ポリッシャー
(RPO-128K,リファインテック(株))
自動研磨装置 オートマック
(AMO-210,リファインテック(株))
試料の表面や断面を粗研磨、精密研磨をするために用いています。手動による研磨のほか、自動研磨装置を用いた研磨も可能となっています。
小型自動研磨装置
(ミニメット１０００,BUEHLER)
１つの試料のみで自動研磨が可能です。耐水研磨紙による粗研磨から、ダイアモンドスラリーを用いた精密研磨、コロイダルシリカによる最終仕上の研磨まで、この１台で全てができるので重宝しています。
振動式自動研磨装置
(バイブロメット２,BUEHLER)
振動式で、最終仕上げ専用の自動研磨機です。通常の仕上げ研磨作業終了後にごく浅く残っていたひずみを取り除くことができるので、EBSD測定をする試料には必須です。
イオンミリング装置
(IM4000 plus,(株)日立ハイテクノロジーズ)
エアロゾルデポジションにて形成したセラミックス膜の断面仕上げに威力を発揮しています。
特性評価、組織観察
テンシロン万能材料試験機
(RTF-1310,(株)エー・アンド・デイ)
１トンまで負荷をかけることができる装置です。引張試験や圧縮試験のほかに、３点曲げ試験による破壊靭性の評価も可能です。
ダイナミック超微小硬度計システム
(DUH-211S,(株)島津製作所)
セラミックス膜の微小領域における硬さ測定と弾性率測定に導入しました。微小荷重での試験では振動は大敵ですので、周囲も測定中は静かにしてもらっています。
デジタル微小硬度計
(FM-800D,(株)フューチャーテック)
1～2000 gfまでの負荷を試料に加えることができます。ビッカース圧子とヌープ圧子を備えているので、それぞれの硬さを測定することができます。測定データはパソコンに取り込むようになっています。セラミックスに圧子を押し込むことでき裂を発生させて、予き裂を導入したり、き裂進展挙動を確認することもしています。
微細形状測定機
(ET-200,(株)小坂研究所)
セラミックス膜表面の粗さ測定や膜の厚さ測定のために導入しました。
示差熱分析装置
(DTA-50,(株)島津製作所)
金属(合金)の熱分析に用いています。
比重測定装置
(SGM-300P,(株)島津製作所)
焼結体の比重測定に用いています。
電子分析天びん
(AEL-40SM,(株)島津製作所)
粉末の重量測定に使っています。酸化試験時の試料の重量変化の確認もこれで行っています。
上皿電子分析天びん
(AX200,(株)島津製作所)
粉末の重量測定に利用しています。
走査型電子顕微鏡
(JSM-5310,日本電子(株))
試料の観察に使っています。反射電子像も見ることができます。
金属顕微鏡
(BX51M,オリンパス(株))
エッチングした金属組織の観察に使っています。
実体顕微鏡
(SZX7,オリンパス(株))
試料の大まかな外観の観察や、研磨面の状況確認に利用しています。
