2023年3月 日本セラミックス協会 2023年年会にて発表を行いました。 2023年3月 日本セラミックス協会 2023年年会にて発表を行いました。 古谷祐樹、長谷川誠、“エアロゾルデポジション法によるα-Al2O3成膜におけるひずみエネルギーに基づいた成膜挙動検討の提案” 2026.2.9