第５回セラミックコーティング研究体　研究会 「⾼信頼性・⾼機能デバイスの実現に向けた先進コーティングと先端評価技術」にて発表を行いました。

第５回セラミックコーティング研究体　研究会 「⾼信頼性・⾼機能デバイスの実現に向けた先進コーティングと先端評価技術」にて発表を行いました。

長谷川誠、“エアロゾルデポジションによるセラミックス膜の環境遮蔽膜としての可能性”